無塵車間廠房的竣工驗收，是對各分部工程的單機試車和無生產負荷系統試車的核查，潔凈室(區)性能參數檢測和調試、各分部觀感質量核查，按要求進行功能檢測和調試。
(1)潔凈廠房竣工驗收時，應認真檢查竣工驗收的資料，一般包括下列文件及記錄：
1 圖紙會審記錄、設計變更通知書和竣工圖;
2 各分部工程的主要設備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進場檢驗報告;
3 各分部工程的單機設備、系統安裝及檢驗記錄;
4 各分部單機試運轉記錄;
5 各分部工程、系統無負荷試運轉與調試記錄;
6 各類管線試驗、檢查記錄;
7 各分部工程的安全設施的檢驗和調試記錄;
8 各分部工程的質量驗收記錄。
(2)潔凈廠房竣工驗收的主要測試內容如下：
1 氣流目測;
2 風速和風量測試;
3 空氣過濾器的檢漏;
4 潔凈室(區)的密閉性測試;
5 房間之間的靜壓差測試;
6 空氣潔凈度等級;
7 自凈時間;
8 溫度、相對濕度;
9 照度值;
10 噪聲級;
11 其他建設方需要進行的檢測項目。
(3) 潔凈廠房的竣工驗收合格，并經核實批準后，按要求進行功能驗收，功能驗收是在“靜態”進行測試，其主要測試內容如下：
1 檢測空氣潔凈度等級;
2 生產工藝有要求者，還應進行微生物測試或化學污染物測試或特殊表面的潔凈度測試;
3 潔凈室(區)的溫度、相對濕度的穩定性測試;
4 檢測自凈時間;
5 檢測潔凈室(區)的密閉性測試;
6 測定照度;
7 測定噪聲級;
8 需要時，確認和記錄氣流形式和換氣次數;
9其他需要進行的其他檢測項目。
(4)潔凈廠房使用驗收后，應編寫使用驗收報告，其主要內容有：
1 潔凈廠房中各種設施(包括生產工藝設備)等的開啟狀態描述;
2 測試的潔凈室(區)人員及其活動情況的描述;
3 分項測試記錄及分析意見(包括測試點位置、座標等);
4 測試儀器的有效校驗證書;
5 驗收出具相關結論。
